Уникальная научная установка (стенд) автоматизированный лабораторный измерительный комплекс РСМ-500 (УНУ РСМ-500) позволяет исследовать атомное и электронное строение и фазовый состав функциональных материалов и покрытий на основе алюминия, кремня и фосфора и их соединений, без разрушения в слоях поверхности, глубиной до 120 нм, в диапазоне длин волн 0.5-50 нм.
Описание метода и принцип действия
Перечень основных направлений исследований:
- Технологии диагностики наноматериалов и наноустройств
- Физика конденсированного состояния
- Физика полупроводников
- Физика и технология наноструктур, атомная и молекулярная физика
- Неорганическая химия
- Науки о материалах
- Элементная база микроэлектроники, наноэлектроники и квантовых компьютеров. Материалы для микро - и наноэлектроники. Микросистемная техники
УНУ РСМ-500 используется для неразрушающих исследований электронно-энергетического спектра валентной зоны (распределения локальной парциальной плотности состояний), полуколичественного анализа фазового состава, исследований специфики локального окружения атомов алюминия, кремния и фосфора - одних из основных в современных микро- нано- и оптоэлектронике.
Метод ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии (УМРЭС) позволяет получить информацию о занятых состояниях с достаточно высоким энергетическим разрешением при относительно простой их интерпретации.
Ультрамягкие рентгеновские эмиссионные спектры мы обозначаем УМРЭС. В зарубежной литературе принятым является обозначение USXES (Ultrasoft X-ray Emission Spectra) или XES (X-ray Emission Spectra).
УНУ РСМ-500 это аппаратно-программный комплекс, который состоит из следующих основных функциональных элементов:
- Ультрамягкий рентгеновский спектрометр-монохроматор РСМ-500 (РСМ-500)
- Рентгеновская трубка закрытого типа с системой позиционирования исследуемых структур и высоковольтным блоком питания
- Вакуумная система
- Автоматизированная система загрузки-выгрузки спектров
- Система обработки, визуализации и моделирования экспериментальных данных электронно-энергетического строения
- База данных спектров рентгеновской эмиссии
- Стенд поддержки и сопровождения
Конкурсный отбор заявок на исследования проводит руководитель УНУ РСМ-500. Порядок обращения для проведения работ на УНУ РСМ-500 регламентирован документами ЦКПНО ВГУ.
Порядок доступа пользователей к УНУ
Внутренним пользователям следует пройти регистрацию на сайте ЦКПНО ВГУ и руководствоваться информацией раздела сайта "Для сотрудников и аспирантов". Внешним пользователям следует руководствоваться информацией раздела сайта "Для сторонних организаций".
Отзывы и предложения от пользователей УНУ фиксируются и обрабатываются после заполнения электронной формы раздела сайта "О центре".
Контакты
Адрес:
394018, г. Воронеж, Университетская пл.1.,
Воронежский государственный университет, главный корпус, к.25
Руководители УНУ РСМ-500:
Заведующий кафедрой физики твердого тела и наноструктур
доцент, д.ф.-м.н.,
Середин Павел Владимирович
e-mail: ftt@phys.vsu.ru
Тел.: +7 (473) 2208363
Профессор кафедры физики твердого тела и наноструктур, д.ф.-м.н.,
Терехов Владимир Андреевич
e-mail: ftt@phys.vsu.ru
Тел.: +7 (473) 2208363