| Описание | 
Многоцелевой сканирующий (растровый) микроскоп JSM-6380LV – удобный, простой в управлении, исключительно надежный прибор для рутинных работ с компьютерным контролем и превосходными техническими характеристиками. Модель микроскопа сочетает в себе возможности работы как в стандартном, так и в LV режимах.
ВОЗМОЖНОСТИ ПРИБОРА, МЕТОДИКИ:
- Получение изображения морфологии поверхности проводящих и непроводящих материалов с нанометровым разрешением.
- Определение толщины покрытий, толщин слоев в планарных образцах.
- Определение размеров частиц и морфологии поверхности проводящих и непроводящих порошков.
- Элементный анализ проводящих и диэлектрических материалов с использованием энергодисперсионной приставки-спектрометра c пространственным разрешением ~1 мкМ. Возможности: выбор массива точек на изображении для последующего автоматического анализа состава, система ”Cameo” для визуализации различий фаз по химическому составу методом цветового кодирования энергетического спектра в каждой точке изображения, построение карт распределения фаз.
Особенности: Низковакуумный режим работы позволяет исследовать образцы без напыления токопроводящим слоем, в том числе образцы металлов, керамики, полимеров и композитов, в т.ч. образцы эмульсий частиц абразивного износа в смазочном масле, отработанные масляные фильтры, лакокрасочные покрытия и пр. образцы, которые не могут исследоваться в обычных высоковакуумных камерах электронных микроскопов.
Технические характеристики:
Наименование параметра
|
Значение параметра
|
|
Разрешение в высоковакуумном режиме
|
3,0 нм при 30кВ
|
|
Разрешение в низковакуумном режиме
|
4,0 нм при 30кВ
|
|
Тип источника электронов
|
W - катод
|
|
Ускоряющее напряжение
|
500 В - 30 кВ
|
|
Увеличение
|
х5 – x300 000
|
|
Режимы регистрации изображений
|
Вторичные электроны (SEI), Обратнорассеянные (BEI – изображение в режиме топографического, композиционного и полутеневого контраста)
|
|
Столик для образцов
|
эвцентрический 5-ти осевой: перемещение по оси Х 125мм, Y: 100мм; Z: от 5 до 80мм; наклон: от –10 до +90°, вращение 360°
|
|
|---|
