Модернизирован при поддержке Министерства образования и науки Российской Федерации в рамках ФЦП «Научные и научно-педагогические кадры инновационной России».

Основные задачи РСМ-500: монохроматизация рентгеновского излучения, разложение его в энергетический спектр, регистрация ультрамягких рентгеновских спектров.

Основные характеристики:

1. Размер области на поверхности образца, в  которой происходит детектирование сгенерированного ультрамягкого рентгеновского излучения, составляет 4х5000 мкм. Изменяя геометрическое положение образца относительно неподвижной входной щели можно выбрать нужный участок поверхности исследуемого образца. 
2. Фокусировка ультрамягкого рентгеновского излучения и подавление коротковолнового излучения осуществляется путем изменения угла фокусирующего зеркала относительно падающего на него излучения. Радиус кривизны фокусирующего зеркала R=4000 мм.
3. В качестве диспергирующего элемента используется вогнутая сферическая решётка типа «эшелетт», радиусом R=1995 мм, имеющая 600 штрихов/мм. Для устранения колебаний спектральной зависимости коэффициента отражения, искажающих форму исследуемых спектров в области длин волн 2-50 нм, на поверхности решётки нанесена плёнка золота толщиной 30 нм.
4. Возможность изменения ширины подвижных входной и выходной щелей в диапазоне от 10 мкм до 80 мкм позволяет находить наиболее эффективные соотношения между энергетическим разрешением спектра и интенсивностью излучения конкретно для каждого образца.
5. Регистрация ультрамягких рентгеновских спектров осуществляется с помощью фотокатода из иодида цезия CsI, т.к. данный материал обладает наибольшей эффективностью выхода электронов в области энергий фотонов 70-120 эВ, характерных для таких материалов как алюминий, кремний, фосфор. Для снятия зарядки на фотокатод подается отрицательный потенциал -400В.

Повышение эффективности регистрируемого сигнала происходит за счет увеличения количества вылетевших из фотокатода электронов с помощью вторичного электронного умножителя ВЭУ-6, а также путем увеличения амплитуды эффективного сигнала и первичной фильтрации шумовых сигналов с помощью предусилителя-дискриминатора AMP-601.