| Описание | Растровый электронный микроскоп JSM-6510LV JEOL с системой микроанализа Bruker XFlash 5010.
Микроскоп JSM-6510LV JEOL - компактный многоцелевой РЭМ с предельной простотой управления и высоким качеством оптики. Создан для удовлетворения запросов как самых взыскательных исследователей, так и инженеров, использующих сканирующий электронный микроскоп в качестве средства контроля. Все возможности инструмента доступны даже начинающим пользователям.
ВОЗМОЖНОСТИ ПРИБОРА, МЕТОДИКИ:
- Получение изображения морфологии поверхности проводящих и непроводящих материалов с нанометровым разрешением.
- Определение толщины покрытий, толщин слоев в планарных образцах.
- Определение размеров частиц и морфологии поверхности проводящих и непроводящих порошков.
- Элементный анализ проводящих и диэлектрических материалов с использованием энергодисперсионной приставки-спектрометра c пространственным разрешением ~1 мкМ. Возможности: выбор массива точек на изображении для последующего автоматического анализа состава, система ”Cameo” для визуализации различий фаз по химическому составу методом цветового кодирования энергетического спектра в каждой точке изображения, построение карт распределения фаз.
Технические характеристики:
Наименование параметра
|
Значение параметра
|
|
Разрешение в высоковакуумном режиме
|
3,0 нм c использовании вольфрамового катода (при 30 кВ)
8 нм (при 3 кВ),
15 нм (при 1 кВ)
|
|
Разрешение в низковакуумном режиме
|
4,0 нм (при 30 кВ)
|
|
Тип источника электронов
|
W - катод
|
|
Ускоряющее напряжение
|
500 В - 30 кВ
|
|
Увеличение
|
х5 – x300 000 (в пересчете на площадь фотопластины 120 мм х 90 мм)
|
|
|---|
