Сканирующий зондовый микроскоп Solver P47

СЗМ Solver P47-PRO - это универсальный прибор для комплексных исследований различных объектов с высоким разрешением на воздухе, в жидкостях и контролируемой газовой атмосфере, при температуре до 150 С. Конструкция прибора гарантирует максимальную точность измерений и большое число СЗМ измерительных методик.

Особенности:

• Собственная система виброизоляции для получение сверхвысокого разрешения без дополнительной виброзащиты (вплоть до атомарного)
• Сканирующая туннельная микроскопия, Атомно-силовая микроскопия и Shear Force (позволяет использовать оптическое волокно в качестве зондового датчика) в одном приборе.
• Работа в жидкостях, в контролируемой газовой среде и при температурах до 150 оС
• Интерактивная система управления и программная настройка режимов работы и функциональной схемы прибора.
• Возможность сохранения настроек в отдельных файлах позволяет начинающему пользователю работать с использованием практически всех современных методов сканирующей зондовой микроскопии.
• Опытный пользователь может разрабатывать и реализовывать свои собственные методики, в том числе многопроходные.

Технические характеристики:

Применение

Идеальный прибор для комплексного исследования различных материалов с высоким разрешением на воздухе и в контролируемых газовых средах (конфигурация сканирования образцом). Прибор может применяться в электронной промышленности для контроля нанолитогрфических (токовых, электрополевых, механических, химических и др.) операций, для контроля качества поверхности полупроводниковых и других пластин диаметром до 100 мм и толщиной до 20 мм. В химической промышленности, материаловедении и в биотехнологии прибор может применяться для контроля технологических процессов получения различных покрытий, пленок, полимерных и структурированных материалов и т.д.

Методики измерений

На воздухе:

СТМ / Низкотоковая СТМ / Туннельная Спектроскопия / Контактная АСМ / МЛС / Резонансная АСМ (полуконтактная + безконтактная) / Метод отображения Фазы / Метод модуляции силы / Изображение Силы Адгезии / Отображение сопротивления растекания /СЕМ /МЗК /МСМ /ЭСМ/ Поперечно-силовая микроскопия/ АСМ (Силовая + Токовая), СТМ и RM литографии

В жидкости:

Контактная АСМ / Микроскопия Боковых Сил/ Метод Модуляции силы / Изображение Силы Адгезии / полуконтактная (scanner-driven) АСМ/ АСМ (Силовая) Литография